【摘 要】
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石英晶体微天平(QCM)作为一种新型的高精度测量工具，具有结构简单，成本低，测量精度高，可以实时在线地测量等一系列优点。 本文在调研大量的参考文献的基础上，对QCM的工
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石英晶体微天平(QCM)作为一种新型的高精度测量工具，具有结构简单，成本低，测量精度高，可以实时在线地测量等一系列优点。
本文在调研大量的参考文献的基础上，对QCM的工作原理从理论上进行了探索。在进行理论分析时，着重于分析独立的平面型QCM的工作原理，以石英谐振器的等效电路为基础，通过详细计算得出谐振器的四个典型的频率点，这些频率点是电路的测量目标。在独立平面型QCM的基础上，对目前新出现的QCM阵列和加槽型QCM的测量原理进行了介绍。在进行充分的理论分析之后，研制了一台QCM仪器并对其进行了实测验证。根据测试结果，给出了在后续工作中如何改进实验仪器的建议。
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