随着全光网络(AON)的发展,骨干网对数据有了更高的要求,为了实现光信号高可靠性传输和最优网络结构,拥有光交叉连接的光开光变得越来越来重要,基于微机械电机系统(MEMS)转镜的N x N光开光由于拥有大端口数、全光交换结构逐渐成为构建全光网络的核心技术,可应用在全光网络的网络节点的光交叉连接(OXC)和光分插复用器(OADM)。本论文对国内外实现NxN的光开关的方式做了研究,并对基于MEMS技术的光开光做了重点介绍,提出一种8 x 8 MEMS光开关实现方案,对MEMS转镜光开关的组成元件二维光纤阵列和准直器阵列组件制作工艺进行了深入的研究,并设计测试系统对二维光纤阵列和准直器阵列指标进行测试。本论文给出了8 x 8 MEMS微镜阵列光开光整体光路设计,通过MEMS镜面转角与光纤端口的关系,二维光纤阵列中光纤的排布,确定了MEMS镜面的转角,从而推导出系统的光程。根据准直器工作原理,得到系统的束腰,以及透镜的焦距,完成整体光路的设计。论文对二维光纤阵列的实现方式进行了深入的研究,提出一种基于硅片定位孔方式的二维光纤阵列的实现法案,并对具体制作流程进行详细说明,针对二维光纤阵列光纤端面的研磨与抛光,采用不同的研磨料和工艺条件进行对比性试验研究,得到一种适合二维光纤阵列端面的研磨与抛光方案,保证所有光纤端面抛磨完整。通过二维光纤阵列制备光纤准直器阵列,对光纤准直器阵列工作原理和制作方法进行研究,给出了具体的制作工艺方法。论文通过设计测试平台,对二维光纤阵列和准直器阵列特性进行测试。并对二维光纤阵列的插入损耗、回波损耗和端面倾角进行测试,并对测试结果进行了分析。同时也对二维准直器阵列的插入损耗、束腰距离和光斑大小进行测试和结果分析。论文通过设计8 X 8 MEMS转镜光开关,进行工艺方案的研究,并通过测试结果对工艺方案提出改进方案,对商用的阵列MEMS转镜光开关开发有很好的指导作用。