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近年来由于激光和光电技术在信息与军事方面的飞速发展，出现了探测精细表面下细小缺陷的难题。一方面表面质量愈来愈受到重视，因为强激光、高灵敏度光电探测装置等都离不开超精细反射面；另一方面，集成电路技术与精密机械制造技术相结合的微电子机械系统已经引出了微型飞行器、微型卫星、微型机器人等一系列新技术，为了使这些技术能批量生产、形成商品，需要齐全的质量检测手段。 光电非接触无损检测是检测亚表面缺陷的一个有效途径之一。随着光电技术、半导体、计算机技术以及图像处理等高新技术的发展，光电测