随着现代科学技术的不断发展,微小型化技术在生物医学、航空航天、国防以及高科技电子产品等领域有着广泛的应用前景,已经成为现代科技研究的前沿。微细加工技术已成为克服MEMS技术局限的重要技术,具有高效率、高柔性、能加工复杂三维形状和多种材料的特点,已成为非常活跃的研究热点。然而,在微细铣削加工中存在微径铣刀的加工性能不高,表现为刀具磨损快、常发生破损;加工质量不高,工件的棱边、沟槽处产生毛刺等问题。因此针对上述存在的问题,本文对微细铣削加工中,微径铣刀的磨损机理、工件毛刺影响因素进行了系统的研究,具体研究内容包括如下三个方面:首先,采用数值模拟的方法,建立了微细铣削加工过程中微刀具磨损的有限元模型,分析了微细铣削加工过程中切削力的变化规律,研究了微径铣刀的磨损变化的形态。利用后刀面刀尖处的最大磨损高度和最大磨损深度,研究了切削参数对刀具磨损量影响的变化规律。其次,在三轴微小型立式铣床上,通过大量微细切削加工实验,利用扫描电子显微镜、能谱仪和共聚焦显微镜,研究了微铣削过程中微径铣刀的磨损形态,分析了刀具的磨损机理,并绘制了刀具磨损曲线。将实验结果与本文所得的数值模拟仿真结论进行对比分析,验证了仿真模型和仿真结果的正确性。最后,本文针对微槽切削加工过程,分析了切削参数和刀具磨损对工件毛刺形成的影响。实验结果表明:微槽顶端的两侧棱边处是形成毛刺最主要的部位,背吃刀量和刀具切削刃钝圆半径是影响微槽顶端毛刺形成的主要因素,通过实验获得了加工微槽的合理切削参数。