随着经济的发展，人们对电力输送系统的要求也越来越高。较早发现和准确判断六氟化硫封闭式组合电器（Gas Insulated Switchgear，简称GIS）内部是否发生局部放电（Partial Discharge，简称PD）对排除设备重大安全隐患、保证人员安全具有十分重要的意义。研究表明：PD会导致六氟化硫（SF₆）气体分解，且不同缺陷引起的PD会导致SF₆的分解特性不同。深入研究导致SF₆分解的影响因素和SF₆分解组分的定性与定量化学检测法，完善评判电气设备内部绝缘性能的检测方法和理论，可早期诊断和预测由GIS绝缘缺陷引起的突发性故障。本文设计了绝缘子外气隙和固体金属突出物两种典型的绝缘缺陷，在SF₆实验分解平台中，采用气相色谱-质谱联用仪（简称GC-MS）检测，模拟不同的电压或气压条件下产生PD，探讨SF₆分解特性及产气规律，得到如下结论：GC-MS检测SF₆分解气体组分，确定了其特征组分出峰的保留时间为：CF₄为4.407min、OCS为8.153min、C₃F₈为9.070min、SO₂F₂为9.610min、SO₂为19.312min、CS₂为19.441min；用单点外标法建立了响应值与浓度的定量关系。两种绝缘缺陷下的放电，随放电时间延长，总产气量呈现上升趋势，但主要的特征分解组分不同。在固体金属突出物缺陷下， SO₂和SO₂F₂是主要的分解气体，随着放电时间的增加，产气量增大趋势相似，且在同一施加电压下，气压与特征组分的量成反比，在同一气压下，而施加电压与特征组分的量成正比；与固体金属突出物缺陷相比，绝缘子外气隙放电缺陷下产生PD，产生CF₄、SO₂F₂、SO₂、OCS、CS₂等较多的特征组分，SO₂量的产气量远大于其他组分，达到1000μL/L以上，CF₄、SO₂F₂的产气量有增加，但是产气量的大小几乎与气室压力无关。通过分析SO₂和SO₂F₂的产气规律，结合SF₆放电分解的机理，推测电子碰撞是固体金属突出物缺陷使SF₆产生分解的主要原因；而热分解是气隙缺陷使SF₆产生分解的主要原因。