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论文着重处理软X射线多层膜光栅的衍射问题,从理论和实验两方面对这一类型光栅的衍射进行了较细致的研究.引言中介绍了X射线的主要光学性质、X射线光学器件的进展、特别是着重介绍了处理多层膜光栅衍射问题的光学方法(标量理论)和电动力学方法(矢量理论).第二章至第四章用X射线衍射的运动学理论研究了多层膜光栅以及多层膜光栅单色器的特性.第五章首先介绍了多层膜光栅制备方面的进展状况,以及影响多层膜光栅质量的因素.