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近年来,铁电材料由于具有良好的压电、铁电和热释电性能,因此受到了广泛的关注。其中,锆钛酸铅[ Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3, PZT) ]作为一种重要的铁电材料,具有一系列优异的性能,如压电、铁电、热释电、光电等。而且可以通过对PZT进行掺杂或单纯改变PZT中的Zr/Ti化学计量比的方式来改善其性能。其薄膜材料被广泛应用于高速非挥发性铁电存储器、红外探测器、光开关、光调制器和声表面波器件等众多领域。其中,富锆PZT(Zr>90mol%)由于具有较高的自发极化和丰富的相变,且相变时的介电常数