近年来,对单细胞参数的分析和研究已成为热点。单细胞作为多数生命体的基本构成,可以包含一个物种的全部遗传信息。此外,生命活动诸如胚胎发育、肿瘤发生及转移均是以单细胞为起点。对单细胞的研究弥补了目前生理组织研究存在的细胞异质性干扰等一系列缺陷,准确性更高,更有利于还原生命活动事件。而温度作为生命体的重要参数,也是单细胞检测的重要指标。目前常用的方法有荧光染色法、量子点法等,但都无法做到高精度、实时测量。热电偶具有实时定量测量、宽测温区间以及精度高等特点,被广泛的应用在生产生活、工业环境中。热电偶可以方便的通过测量电压值,获取到对应的温度值。微纳钨-铂金属异质结热电偶可用于测量单细胞温度。微纳金属异质结热电性质不仅与金属材料种类、材料的尺寸有关,还受到金属异质结形貌的调控。因此,当前亟需开展对微纳钨-铂金属异质结热电偶制备参数的控制研究。针对此研究目标,本论文开展了如下研究内容:(1)本文提出了一种双反馈电化学腐蚀制备控制方法,该方法通过控制电源关断延时达到控制针尖成形时的腐蚀作用时间的目的;通过对双反馈法进行的拓展研究,不仅实现了对电化学反应的开始/终止的控制,还能够精确控制钨棒置入腐蚀溶液的深度。(2)基于该控制方法,本文搭建了一套W-Pt微纳热电偶前端自动化制备系统,实现了对形貌的控制。(3)为了对制成的W-Pt微纳热电偶的性质进行表征,本文结合恒温水浴槽及零度恒温器,搭建了一套W-Pt微纳热电偶自动化标定系统,能够同时对多根W-Pt微纳热电偶进行高精度标定,极大的提升了效率。(4)为了对系统性能进行测试分析,在本文中,基于这两套系统制备了具有不同钨探极形貌的W-Pt微纳热电偶,探究了制备时的控制参数与钨探针形貌参数之间的关系;对W-Pt微纳热电偶的热电性质进行表征,并使用统计学方法分析了钨探针形貌参数与W-Pt微纳热电偶热电系数的关系。本文首先提出了一种双反馈控制法,其控制电路中电压比较器的参考电压不再是固定的,而是通过自适应预测器(Adaptive Predictor)动态输出;之后设计了两套自动化系统,为单细胞温度测量提供了工具;最后对W-Pt微纳热电偶的热电性质与钨探针形貌相关性进行研究,其结果为后续对W-Pt微纳热电偶传感器性能的提升提供了参考。