面向微纳操作的单级柔顺正交位移放大机构非线性设计与控制

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微纳操作技术是精密工程、生物工程、医疗技术与材料科学等众多领域的关键技术之一,受到国内外学者的广泛关注。微夹钳作为微纳操作系统中一种典型的末端执行器,其操作精度与稳定性直接影响了微纳操作系统的性能。压电驱动器响应速度快,分辨率高,是微夹钳的常用驱动方式之一。同时,柔顺机构具有无间隙、无摩擦等优点,是微夹钳的典型实现形式。其中,单级柔顺正交位移放大机构可通过正交位移转换实现微夹钳近似平行夹持操作,并通过位移放大提高操作的灵活性。然而,为进一步提升微纳操作的灵活性,需要对单级柔顺正交位移放大机构进行微型化设计,导致几何非线性问题与剪切问题显著,影响柔顺执行机构的操作精度。本文正是在这一背景下,对面向微纳操作的单级柔顺正交位移放大机构的非线性设计与控制进行研究,以实现压电叠堆驱动柔顺微夹钳操作的精准性与稳定性。(1)基于传统对柔顺正交位移放大机构的小变形线弹性建模,为了进一步提高机构输出位移的预测精度,考虑剪切作用引起的非线性因素以及大变形等几何非线性作用,对两种典型的单级柔顺正交位移放大机构进行精确的非线性建模与优化。具体内容包括:建立机构在夹持运动方向与寄生运动方向输出位移的线弹性解析模型,结合小变形静力学有限元分析,拟合剪切非线性修正系数;建立机构输出位移的几何非线性修正系数模型;进而考虑输出位移最大化并抑制寄生位移、几何非线性作用的影响,进行了机构平面尺寸和厚度的综合优化策略;利有限元仿真验证了机构输出位移非线性模型与非线性优化结果的有效性。(2)为实现精准的微夹钳平行夹持操作,以消除寄生位移和输出位移误差的影响,研究了基于单级柔顺正交位移放大机构的平行夹持控制。具体内容包括:优化机构传递函数的系统辨识;利用所建立的单力输入桥式位移放大机构期望夹持方向与输出寄生位移非线性模型,构造输出位移的前馈控制环节,并结合PID反馈控制,形成混合控制模型,实现稳定、快速、精准的平行夹持操作。(3)基于优化后的单力输入桥式位移放大机构,设计并制作了实验样机,进而基于光学显微测量技术,对样机性能进行了实验测试,验证机构非线性设计研究的有效性。
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