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聚对二甲基苯类（Parylene）涂层是一种具有电绝缘性以及耐腐蚀性等多种优异防护性的高分子材料。本文在自主研发聚对二甲基苯类涂层气相沉积装置的基础上，制备出的聚一氯对二甲苯（Parylene C）有机涂层具有大体积空间的均匀性、完整性和很好的防护性。这项技术解决了国内聚对二甲苯类有机涂层应用的技术瓶颈。研究工艺参数对涂层介电性能影响结果表明，当蒸发温度在75℃～115℃，裂解温度在675℃～680℃时，介电强度达到216.5kV·mm-1，证明了Parylene C涂层有很好的绝缘性能。通过在不同材质的试件表面镀覆后，测得电化学阻抗谱（EIS）和开路电位、塔菲尔（Tafel）曲线可以证明Parylene涂层具有优异的防腐蚀性能。利用接触角测定仪对Parylene C涂层与水的接触角进行了测量，测得Parylene C涂层与水的接触角为114.04°，证实了Parylene C涂层具有优异的防水性能。本文研究了大体积空间镀覆的均匀性，结果表明：大体积空间镀覆工艺中，通过改变分流器的设计可以保证镀覆的均匀性。对LED组件镀覆2h后，在水下连续工作2400h无异常，对电路板真空镀覆，厚度为5μm的Parylene涂层的击穿电压高达1100V。这充分的证明了Parylene C涂层具有优异的防护性能。本文利用Parylene涂层具有良好的介电特性和均匀深度涂覆性，提出以Parylene为电介质材料，多孔泡沫铜为电极材料的新型的泡沫概念电容器。泡沫电容器可以视为悬浮在电解质中的两个无反应活性的多孔电极板，当电容充电时，大量的电荷被存储在电极/溶液的表面，形成了被Parylene分开的两个容性存储层，由于泡沫材料的大比表面积效应，提高了电容器的容量密度。本文测得450nm膜厚样品电容的电容量密度为0.02μF·cm-3，这类电容器有别于传统电容，其结构原理是Parylene应用领域的一项创新。