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类金刚石碳(diamond-like carbon, DLC)是一种含有大量sp3相碳的非晶亚稳态碳材料。类金刚石薄膜由于具有负电子亲和势(NEA),被认为可以在冷阴极器件中作为电子源,其场发射特性受到广泛关注。本论文主要用电化学法沉积法制备镍掺杂类金刚石碳复合薄膜,并对其场发射性能和热稳定性进行了深入的研究,其主要内容包括：(1)在以甲醇溶剂为碳源在单晶硅表面电化学沉积制备类金刚石碳(DLC)薄膜的基础上,通过向甲醇溶剂中添加含不同剂量的镍试剂乙酰丙酮镍,得到了不同浓度的掺镍的