【摘 要】
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该文的主要工作是在分析影响测量精度的主要因素及影响机理的基础上,深入论述了该测微转换系统研制中的几项关键技术:1.采用数字式载波信号发生器提供调幅电桥的激励电源,提
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该文的主要工作是在分析影响测量精度的主要因素及影响机理的基础上,深入论述了该测微转换系统研制中的几项关键技术:1.采用数字式载波信号发生器提供调幅电桥的激励电源,提高调制载波信号幅值和频率的稳定性及函数性,最终提高测量精度;2.直接对经过带通滤波、放大的调制交流信号进行数字相敏检波.通过检测调制信号的峰-峰值,提高检波灵敏度和线性;这种检波方法无须模拟相敏检波后的滤波、直流放大等环节,从根本上消除了滤波波纹系数及低频直流信号难以精确放大对相敏检波精度带来的影响;3.抗噪声的数据采集方法.对采样值进行多点平均计算,减弱噪声和干扰对测量精度的影响;4.把信号转换,调制电路和数据的采集系统集成设计为插件式一体化结构,便于使用、维护.采用上述关键技术可提高噪声环境中微弱信号提取的精度.通过误差分析和实验比对表明,该系统的主要技术指标达到设计要求,即分辨力达到3nm,相对测量示值稳定性可达2nm.它主要可应用于超精密圆度仪误差分离系统中,检测回转元件的圆度误差,也可以广泛地用于各种民用、军用和科研中精密形状测量的数据采集.
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