除了传统的焊接、切割、化工等应用外,低温等离子体技术在半导体加工、材料表面改性、生物医学等新技术领域也发挥着重要作用。近年来,低温等离子体物理研究推动着等离子体处理加工技术迅猛发展,同时技术应用又促进着低温等离子体物理研究的深入开展。在低温等离子体应用的基础实验和理论研究中,产品质量的稳定性、反应机理的清晰性、产率和效率的提高是新技术领域中的一系列关键问题。因此对其基本物理过程进行透彻的研究和工艺参数的优化改善尤为迫切。部分电离气体的产生过程、性质特征和运动状态等都是低温等离子体物理的主要研究内容。气体放电装置的几何尺寸、中性气体压强和峰值电压等放电参数对放电等离子体特性的影响是非常重要的物理问题,但内部机理仍不清晰。通过数值模拟对放电过程和物理特性进行系统深入的研究是一种简便、高效的方法。本文针对低气压容性射频氩气放电建立了等离子体的一维流体模型,数值研究了基态激发对等离子体动力学特性的影响。研究了不同放电间距、中性气体压强和峰值电压对电离的影响,以及中性气体压强对等离子体参数演化特性的影响。在等离子体流体模型建立中,探讨了基态激发在电子能量方程中的重要性。在两种情况（考虑和不考虑基态激发）下,对所建立的模型进行了数值求解。数值结果表明,两种情况下放电达到稳定状态所需要的时间不同。此外,不考虑基态激发与考虑基态激发的情况相比,等离子体区的电离率被高估了,而且周期平均的电子密度、离子密度、电场和电子温度等物理量也存在明显的差异。因此基态激发在流体模型中是不可忽略的。然后深入地分析了不同放电间距、中性气体压强和峰值电压对等离子体动力学特性的影响,特别是对电离的影响。数值研究了中性气体压强对等离子体参数演化特性的影响。结果发现,随着中性气体压强的增加,放电达到稳态后在随时间的演化过程中,放电区间中心点处的电子密度、电子电流密度和总电流密度的振荡幅度减小,离子密度基本没有振荡,离子电流密度的振荡幅度增加;驱动鞘层和接地鞘层内的电子温度、基态电离碰撞频率和基态激发碰撞频率的振荡幅度增大;驱动电极处和接地电极处的电场和净电荷密度的振荡幅度增大。