在中波红外(3-5um)波段,硅单晶具有极低的吸收率、较高的折射率、较小的色散和较高的硬度,这些优良特性使硅成为制造红外光学镜片的理想材料。长期以来硅单晶并没有被广泛大量地使用在非球面红外镜片元件中。这是由于硅单晶的脆硬性特性,使得硅透镜在加工过程中加工效率低、精度不高,成为制约硅透镜批量生产的主要原因。本文针对常用的中等口径硅透镜的非球面,以Preston理论为基础,利用数控铣磨、抛光机对Φ41的硅透镜进行研究。通过柔性抛光模与小口径抛光模相结合的方式,对硅的非球面进行数控抛光。本文做了大量的试验对整个加工过程,特别是数控铣磨、抛光工艺,进行了深入细致的研究。主要对砂轮型号、砂轮转速、工具轴转速、进给量等影响非球面铣磨的参数进行研究;通过对抛光布种类、磨头转速、摆角、压力等影响非球面抛光的参数进行研究。经过不断的优化,得出最适合的加工工艺参数组合,得到了符合要求的硅单晶非球面,提高了加工精度及加工效率,具备了硅单晶非球面批量生产的能力。