【摘 要】
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本论文主要对碱溶性光敏环氧丙烯酸酯齐聚物的合成工艺及合成产物的性能进行了研究,并初步探索了它在光致抗蚀剂中的应用.利用丙烯酸、马来酸酐、环氧大豆油和双酚A环氧树脂
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本论文主要对碱溶性光敏环氧丙烯酸酯齐聚物的合成工艺及合成产物的性能进行了研究,并初步探索了它在光致抗蚀剂中的应用.利用丙烯酸、马来酸酐、环氧大豆油和双酚A环氧树脂为原料,采用两步法合成了两个系列的碱溶性光敏环氧丙烯酸酯齐聚物.首先,环氧基团和丙烯酸反应生成羟基;其次,马来酸酐和羟基反应生成羧基并引入双键基团.研究了反应温度、反应时间、催化剂的种类和数量、阻聚剂的种类和数量对合成产物的影响,对此进行了大量的实验研究.利用红外光谱对合成物进行了表征.利用单因素水平法和正交试验相结合优化出了较佳的合成条件.对合成产物的粘度、感光性、碱溶性、热老化性能进行了研究.利用DSC对部分树脂玻璃化温度和热失重进行了测试.对固化膜冲击韧性和部分固化膜的介电常数、介电损耗、体积电阻率和表面电阻率进行了测试.研究结果表明:两个系列齐聚物具有较好的感光性.配比为1:0.8 S-系列最低固化光量最小为0.58 mJ/cm<2>,玻璃化温度最高可达到158℃.在酸酐配比大于1:0.6时,两个系列具有较好的碱溶性和较低的介电常数和介电损耗.
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