CMOS Sensor瑕疵检测关键技术研究

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随着CMOS器件的广泛应用,人工检测已经不能满足产量需求和产品质量要求,需要研制用于对检测其性能指标的自动化设备。本文针对目前CMOS芯片人工检测的不足,设计了自动光学检测系统,满足对CMOS芯片自动检测的要求。系统优化了光源的打光方式,根据LED的特点采用电压源自动控制,并对三色光进行混色。系统利用机械手替代人工完成对被检测的CMOS芯片的分检,分析了机械手的X、Y方向的位移精度。系统利用单目视觉技术,通过图像处理技术判断被抓取芯片位置,并通过图像坐标系与系统坐标系之间的转换,实现芯片的旋转校正和定位,实现了芯片测试过程中芯片管脚与触头精确对准。最后通过实验,验证了系统中图像坐标系和系统坐标系标定方法的可行性。
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