【摘 要】
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本文通过对国内外电阻炉控制技术的发展与回顾,在介绍了常规PID控制与数字PID控制及模糊PID控制技术后,针对微电子工艺加工电阻炉的控制对象,围绕AT89C52单片机为硬件设计核
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本文通过对国内外电阻炉控制技术的发展与回顾,在介绍了常规PID控制与数字PID控制及模糊PID控制技术后,针对微电子工艺加工电阻炉的控制对象,围绕AT89C52单片机为硬件设计核心,采用模糊自整定技术,设计出一种适用性好、控温精度高、超调幅度小的温度控制系统。本系统采用MAX6675和MAX518分别作为温度检测电路和输出控制电路,这不仅简化了系统的硬、软件设计,也提高了温度检测的精度。在系统中还增加了内置Profile (热电偶)的设计,实现了系统温度的实时监控。系统硬件采用了集成化、抗干扰、隔离化技术,提高了系统的可靠性和抗干扰能力。系统软件进行了模块化,具有较好的移植性、通用性和共享性。通过对系统参数设计、硬件设计、软件设计和系统调试,本系统达到了设计要求,明显优于常规PID控制。通过对微电子工艺加工电阻炉的控制效果实验,对本系统与常规PID控制效果进行了对比与分析。实验结果表明,本系统温度控制参数不仅完全达到系统设计要求,而且在超调和控温精度等方面明显优于常规PID控制。本系统超调达到≤0.5%、控温精度达到±0.5℃,具有较好的控温效果和应用前景。
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