本工作采用蒙特卡罗模拟方法对氮空心阴极放电鞘层区氮离子(N2+、N+)输运过程进行了的模拟研究，计算了氮离子(N2+、N+)在鞘层区及阴极处的能量分布、入射角分布、粒子数密度分布以及其随放电参数(P，V)的变化。并与相应条件下的平行平板电极直流辉光放电的结果进行了比较。研究结果表明：氮空心阴极放电等离子体鞘层离子(N2+，N+)在向阴极输运过程中，离子能量不断增加，绝大多数离子朝着阴极运动。但N2+是密度几乎不变的低能粒子，N+是密度逐渐减少高能粒子，且在相应位置处原子离子N+比分子离子N2+的密度小的多。随电压增加，N+密度减小平均能量增加，N2+密度和平均能量变化不明显。和平行平板电极放电相比，能量、入射角及密度的相对分布规律及随放电参数的变化基本类似，但圆筒空心阴极放电离子密度大。结果很好的描述解释了空心阴极放电的现象和特征，为认识空心阴极放电等离子体离子运动行为提供参考依据。