该论文首先分析了可能对超精密车削加工精度产生影响的各种误差源,建立了超精密机床的系统动力学模型.对于超精密机床这一复杂的机械系统,对其建模时很难用对其建立准确的解析模型,为此彩有限元方法对其进行了分析建模和计算.进行了有限元静力分析和动力分析.其次,在研究中发现主轴的质量偏心、主轴和电机轴的不同心以及联轴器偏摆是主轴系统处的主要误差源和振源,因此对这一部位的误差源进行了深入的研究.该机床的主轴和电机联结是采用碰性联轴器的柔性联结.采用有限元方法对磁性联轴器内的磁场分布和由磁场分布不均产生的偏心磁力进行了分析计算.在此基础上,建立主轴系统的数学模型,采用Riccati传递矩阵方法分析了主轴系统在质量偏心和偏心磁力作用下的响应,辨识了主轴系统的误差源.再次,由于加上误差是各误有效期源综合作用的结果,为了辨识各误差源的存在状态采用神经网络方法对超精密加工的误差源进行了综合诊断.最后,为了消除最主要的误差源之一的主轴系统的质量偏心,对主轴质量偏心进行了动平衡.考虑到加工过程中的主轴系统的参数时变性,采用分次方法对主轴系统进行动平衡.切削实验表明,主轴动平衡后,机床加工的圆度提高40﹪.