红外焦平面的光谱响应测试技术研究

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随着红外探测技术和半导体工艺的发展,红外焦平面探测器广泛地应用于各个领域。对于红外探测器而言,光谱响应是探测器的重要性能参数之一,反映了探测器在不同波长下的响应。由于国内对于红外焦平面探测器的光谱测试技术相对落后,大多数依赖于进口的测试系统。因此对红外焦平面光谱测试技术的研究具有重要意义。首先,本文通过对红外焦平面探测器的光谱测试技术的研究,介绍傅里叶红外光谱仪的核心器件——迈克尔逊干涉仪的工作原理,以及红外傅里叶光谱仪应用于光谱测试的原理。然后,分析单色仪的工作原理,解决单色仪在分光过程中产生的二值衍射问题。针对测试环境中存在杂散光的问题,利用斩波法将有效的直流光信号调制成交流信号,通过离散傅里叶变换后去除杂散光对光谱测试结果的影响。斩波法能够提高信噪比,有利于长波段的光谱测试。在此基础上,本文设计出基于单色仪的红外光谱测试系统,其中,该系统硬件部分的设计主要涉及辐射源的选择、微弱光信号的检测和单色仪的分光等。而软件部分则根据系统的需要,设计并编写出不同的模块,主要包括功能控制模块、图像显示及数据采集模块、数据分析及处理模块、数据库模块。使用不同的模块能够实现对不同仪器的控制、数据的分析和计算结果的保存。相比于传统的测试系统,基于单色仪的红外光谱系统能够大幅度缩短测试时间,提高测试效率。本文使用该光谱测试系统能够测量探测器在3?m~15?m波段下的相对光谱响应,并且光谱的分辨率最小能够达到1 nm。最后,分析感兴趣区域中不同种类的盲元对于光谱测试结果的影响。讨论由于斩波频率和采样频率不稳定而导致的频谱泄露问题,并对探测器输出信号进行加窗处理,从而缓解频谱泄露问题。
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