【摘 要】
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本文详细的分析了真空多晶硅铸锭炉工艺原理以及温度特性,在深入研究传统PID控制的基础上,对其进行改进,将模糊控制理论引入到PID控制中,以提高系统的自动化程度。设计了以模
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本文详细的分析了真空多晶硅铸锭炉工艺原理以及温度特性,在深入研究传统PID控制的基础上,对其进行改进,将模糊控制理论引入到PID控制中,以提高系统的自动化程度。设计了以模糊PID控制为基础的串级控制系统,并在matlab环境中对该算法进行仿真。本系统采用PLC可编程控制器作为系统的下位机,对炉温进行实时控制与信息采集,并与上位机进行数据交换,控温算法根据炉温的实际情况计算出合理的控制参数,再将控制信息发送给执行机构,执行机构通过调节可控硅的导通角来调节加热功率,实现对炉温的良好控制。最后,在多晶硅铸锭炉生产实验中对该系统进行工艺实验以验证该系统的控制性能。
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