【摘 要】
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微位移测量是工业测量领域一个很重要的环节。在计算机控制下，光、机、电相结合的激光三角测量头，由于它的高精度、高效率和非接触性，广泛应用于微位移测量领域，同时对于测头
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微位移测量是工业测量领域一个很重要的环节。在计算机控制下，光、机、电相结合的激光三角测量头，由于它的高精度、高效率和非接触性，广泛应用于微位移测量领域，同时对于测头的性能要求越来越高。
本文从影响测头工作的根本原因出发，定量或者定性的分析了各种影响因素，提出了改进方法和措施，并进行了DSP系统设计。文章在深入分析光学三角法测量原理的基础上，研究了影响测量精度的因素，对主要影响因素的影响机理进行了详细的分析，并针对这些问题提出了解决方案，从最大程度上减小外界环境变化和参量误差对测量的影响，同时根据系统技术要求，选择了能使测量精度提高的最优方案。
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