随着现代人类科学技术和生活质量地不断提高,客户对镀膜产品的质量及表面的要求也逐年提高。基于以上因素,对镀膜设备而言,不但需要具备优良的稳定性,而且要有很高的效率。在磁控溅射技术中,高频开关电源的设计是整个技术的重要部分。随着电力电子技术的迅速发展,现今的开关电源向大功率、高频化的方向发展。本文就是针对镀膜设备的要求设计了一台大功率磁控溅射开关电源。论文首先介绍了目前开关电源的发展现状以及趋势、开关电源的原理；磁控溅射工艺环节的原理,以及溅射镀膜技术的应用领域。然后论证了各种开关电源主电路的拓扑结构,并分析它们的优缺点,确定以全桥式变换器拓扑作为主电路形式,选用MOSFET作为功率开关管。对高频开关电源变压器主要参数的确定、磁芯和高频磁线的选择进行了详细设计。在控制电路设计中,选用由ST(意法半导体)公司生产设计的SG3525PWM脉冲控制器,并设计反馈电路、保护电路、驱动电路等。其中,反馈电路的设计,利用了LM324和LM224放大器对电压和电流的数值进行比较,控制电源的开、关状态,通过建模加入了补偿器,减小因为误动作而引起开关电源的不稳定输出,提高了电源的可靠性。其次,对驱动电路而言,考虑到资源占用量少、性价比以及减小电源的体积的目的,最终选择美国的IR2110驱动芯片,并详细讲述了外围电路的设计方法。然后,设计了提供各个芯片正常工作的辅助开关电源。它使用了反激变换拓扑结构,利用单片开关电源控制芯片TOP204作为主要器件。在对变压器副边电压的设计中,加入了TL431和LM7915芯片来提高输出电压的精确度和稳定性,保证各个驱动芯片稳定工作。为减小主开关电源的损耗,提高主电源的效率,对电源采用了MOSFET的移相全桥零电压软开关技术,并对全桥零电压软开关的应用做了仿真,验证了设计的合理性。最后对控制芯片SG3525单路输出的波形和双路输出的波形做了仿真,确定本设计的有效性。