【摘 要】
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随着德国工业4.0及中国制造2025的提出,现代工业进一步发展,扩大了对超精密加工技术的需求,对加工精度也提出了更高的要求。气浮静压轴承在超精密加工技术领域中有着不可替代的地位,应用也越来越广泛,其具有精度高、无污染、无摩擦等优点。但是,气浮静压轴承刚度低的缺点也大大限制了其应用于大型超精密加工装备。因而,本课题研制高刚度气浮静压轴承对超精密加工技术及装备的发展具有重要意义。本文主要做了如下工作:
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随着德国工业4.0及中国制造2025的提出,现代工业进一步发展,扩大了对超精密加工技术的需求,对加工精度也提出了更高的要求。气浮静压轴承在超精密加工技术领域中有着不可替代的地位,应用也越来越广泛,其具有精度高、无污染、无摩擦等优点。但是,气浮静压轴承刚度低的缺点也大大限制了其应用于大型超精密加工装备。因而,本课题研制高刚度气浮静压轴承对超精密加工技术及装备的发展具有重要意义。本文主要做了如下工作:(1)依据气浮静压轴承的设计需求,主要进行了矩形气浮静压止推轴承的结构分析及气体润滑模型阐述。首先对矩形气浮静压止推轴承的结构进行介绍并分析其工作原理,其次依据质量、动量以及能量守恒定律,阐述了气浮静压轴承中气体的流动规律。(2)基于有限体积法对矩形止推气浮静压轴承的静态性能进行求解。利用FLUENT软件对矩形止推气浮静压轴承的气膜流场进行仿真分析,得到气膜流场的压力分布云图和速度矢量云图,并通过后处理功能得到轴承承载力和气膜刚度。对比采用不同节流方式的轴承气膜刚度,微孔节流矩形止推气浮静压轴承的刚度性能较优。(3)基于FLUENT软件对微孔节流矩形止推气浮静压轴承的气膜流场进行仿真计算,分析不同设计参数对气浮轴承的静态性能的影响,包括了微孔直径、微孔深度、微孔数量、微孔分布结构和承载面长宽比。根据仿真结果,对微孔节流矩形止推气浮静压轴承的结构参数进行优化,设计出具有较高刚度的轴承,其边长为40mm×80mm,并通过仿真计算出其刚度为66.9 N·μm-1。(4)对微孔节流矩形止推气浮静压轴承进行结构设计、加工制造以及精度检测,并对其承载力和气膜刚度进行实验测试。根据实验测试需求,搭建了气浮轴承性能测试平台,制定实验流程方案,依据方案完成对微孔节流矩形止推气浮静压轴承的承载力和气膜刚度测试,测得其刚度为62.52 N·μm-1。
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