【摘 要】
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气浮支承由于其高精度、低摩擦等优点在精微加工、精密测量等领域得到了广泛应用，已经成为超精密运动机构最重要的基础元件之一。随着超精密运动机构定位精度由微米量级向纳米量级的提升，气浮支承内部气体流动引起的微幅振动问题已经成为阻碍超精密气浮运动机构继续发展的瓶颈。为减小气浮支承的微振动，保证超精密运动平台的定位精度，本文主要进行了以下研究工作：首先，在广泛阅读和深入总结国内外相关文献资料的基础上，应用气
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气浮支承由于其高精度、低摩擦等优点在精微加工、精密测量等领域得到了广泛应用，已经成为超精密运动机构最重要的基础元件之一。随着超精密运动机构定位精度由微米量级向纳米量级的提升，气浮支承内部气体流动引起的微幅振动问题已经成为阻碍超精密气浮运动机构继续发展的瓶颈。为减小气浮支承的微振动，保证超精密运动平台的定位精度，本文主要进行了以下研究工作：首先，在广泛阅读和深入总结国内外相关文献资料的基础上，应用气体润滑原理和气旋理论，根据国内目前可加工能力，设计了一种新型气浮支承节流器—微孔阵列式节流器，其
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