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目前,在ICF的研究中,由于受到激光能量的限制,整体式空腔靶的空腔必须设计得很小,直径和长度多为毫米级,其表面积一般小于15mm2,要求精度达到微米量级。显然,通过机械加工的方法,如此小的整体式空腔靶材是无法实现的。采用液相沉积技术制备整体式空腔Fe靶,在预处理芯轴表面金属化的催化作用下,通过镀液可控制的氧化还原反应产生金属Fe的化学沉积,镀层致密、针孔少,镀层厚度易于控制,镀铁纯度也能满足空腔靶的要求。因此,论文开展研究激光聚变整体式空腔Fe靶的表面沉积工艺,为国内外开展其他金属或合金整体式空腔靶