【摘 要】
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该文针对人工机械心脏瓣膜材料1Cr18Ni9Ti锈钢与类金刚石(DLC)涂层附着强度差的问题,为了制备有良好血液相容性和耐磨性的新型DLC/SiC生物梯度薄膜材料,特提出采用具有众多优
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该文针对人工机械心脏瓣膜材料1Cr18Ni9Ti锈钢与类金刚石(DLC)涂层附着强度差的问题,为了制备有良好血液相容性和耐磨性的新型DLC/SiC生物梯度薄膜材料,特提出采用具有众多优点的微波放电等离子体CVD新技术来提高沉积速率和改善膜的性能,研究了制备DLC膜、Si膜、SiC膜和DLC/SiC梯度膜的新工艺,并评价了各种膜的成分、结构和性能,取得如下结果:1.利用平面热应力模型首次在国际上对DLC/SicC体系进行热应力计算.2.首次在国际上采用微波放电等离子体成功地制备了DLC/SiC梯度薄膜,并用这种新技术制备出了DLC膜、α-Si膜与多晶Si膜,SiC膜,获得了最佳工艺.3.用XPS分析证明DLC/SiC梯度薄膜组成变化连续,实现了材料组成的梯度化,且薄膜与基体之间有Si、Fe元素的相互扩散现象,有利于提同附着性.4.DLC膜、SiC膜、DLC/SiC膜均为非晶态结构.5.研究表明,在不锈钢上沉积的梯度材料的附着性比非梯度材料明显是高,制备的DLC/SiC梯度涂层的附着强度,用划痕法测定,临界载荷达4.75kg,已达到实用切削刀具涂层附着强度的水平.6.采用溶血率指标评价血液相容性表明:微波法制备的DLC涂层血液相容性良好,接近于LTIC.该论文进行的微波放电等离子体制备生物梯度材料的尝试,国内外还未见报道,是一条制备生物梯度薄膜材料的新途径.
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