【摘 要】
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光学干涉计量方法在光学测量中有广泛的应用。本文针对闭合干涉条纹的处理,研究了基于坐标变换的条纹中心法和二维FFT法的算法及关键技术。基于坐标变换的条纹中心法将笛卡尔
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光学干涉计量方法在光学测量中有广泛的应用。本文针对闭合干涉条纹的处理,研究了基于坐标变换的条纹中心法和二维FFT法的算法及关键技术。基于坐标变换的条纹中心法将笛卡尔直角坐标系下的闭合条纹利用亮度插值的方法转换为极坐标系下的非闭合条纹,然后利用二值化、细化算法提取出黑条纹中心点的位置,并将这些采样点经逆变换映射回原直角坐标系,经分析得到与之对应的相位值,从而实现了对闭合干涉条纹位相调制。研究了二维FFT处理闭合干涉条纹的算法。为了解决包裹位相图的突变问题,采用在频域中的四个不同方向的低通矩形滤波器滤波后的图像,通过拼接的方法得到正确的包裹位相分布,以实现对闭合干涉条纹的处理。根据上述原理编写了程序,利用计算机进行了仿真,两种方法的位相调制误差均小于λ/10。使用本文所编制的程序对一个光学镜头的实际干涉图进行了分析处理,并将其与ZYGO干涉仪对同一镜头的测试结果进行了比对,结果吻合。最后对基于坐标变换的条纹中心法和二维FFT法处理闭合干涉条纹进行了相关应用的研究,给出了实验结果。
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