深圳市作为中国半导体制造重要基地之一,响应国家号召,持续推进半导体制造业发展。在深圳市政府的支持下,深圳近年建成不少引人瞩目的半导体制造工厂。然而,半导体生产厂房的建设需要大量的土地资源投入。这些土地是否得到了合理有效的利用,是个值得探究的问题,也必须进行探究,因为深圳市现今已面临土地资源的难以为继的困境。这个问题关系到是否值得继续投入大量土地支持半导体制造业在深圳的发展;若要继续投入土地支持其发展,应深入研究如何优化对这些土地的利用以缓解深圳市建设用地紧张。为便于研究,本文通过对文献的分析归纳定义了半导体用地绩效的内涵,然后对深圳市半导体用地绩效进行评价,分析指出深圳市半导体制造业用地绩效存在的可提升空间,以提出可行的、合理的政策的优化方向。为实现上述目标,本文首先总结了半导体制造业的发展历程、深圳市建设用地状况和相关工业用地政策,指出了现阶段深圳市半导体制造业用地存在的矛盾。其次,运用文献分析法和归纳法对半导体用地绩效的内涵进行了定义,明确研究范畴;然后采用适用的方法建立了评价体系和基于数据包络分析的评价模型。再次,根据一定的原则抽取了研究样本并通过评价模型对样本用地绩效进行了测算,作出用地绩效评价。最后,基于用地绩效评价提出了政策优化目标;然后基于系统动力学确认了政策的切入点,提出政策优化的建议。通过研究,本文发现深圳市半导体制造业用地绩效偏低。通过进一步分析发现其中的液晶面板制造产能极可能已过剩,而部分半导体制造工厂存在故意囤地或高污染等问题。针对这些问题,建议采取更新细化供地政策,谨慎引入液晶面板制造,进行必要的产业替代和用地更新,出台半导体制造业厂房设计和建设指导性规定,加强报批项目的可行性评估,完善工业用地审批后监管,优化补贴政策增加对半导体制造业节能减排类的补贴等措施进行改善。这些举措有利于缓解深圳市建设用地紧张、土地承载能力接近极限等系列问题,对深圳市进行土地相关政策优化具有一定参考意义。