随着集成电路和微机电系统等方面微小型化趋势日益明显,硅材料在如高温、高频等方面应用的局限性逐渐体现,人们开始关注下一代的替代材料。石墨具有优良的电学、磁学、力学和热学特性,在集成电路和微机电系统等领域极具潜力,已经受到了美国硅谷工业界、科学界的高度重视。本文在简要概述了石墨电子结构及其众多优越性质后,着重分析了石墨在集成电路及微机电系统用电子罗盘、磁电致动器等方面的潜在用途。论文依据磁电相关的磁阻效应、霍尔效应原理,在调研各种MEMS用石墨的制备工艺基础上,采用解理法分离出了适于实验用的石墨样片,提出了一种类似硅晶片的石墨方案,设计出了具体的石墨MEMS Cross结构,利用高分辨显微镜和四探针甚小电阻测试技术筛选出电阻率分布均匀的样片用来刻蚀石墨微结构,设计出相应的电路信号测试系统,通过该测试系统我们研究了石墨在磁电相关电导输运条件下,石墨MEMS微结构与电流、电压、真空度关系,以及磁场对其输出电压的影响。研究了不同真空度下石墨微结构电导率及其在其他极端条件下的特性;通过实验实现了石墨MEMS微结构的电路调试平衡,磁场或线圈对石墨MEMS微结构输出电压的控制,观察到了霍尔电阻平台阶跃效应。论文在石墨微小化应用方面做了的一点探索性工作,另外针对石墨甚小电阻的测量,设计了一种可调微小电压测试装置,得出的实验数据证明了该电路有一定的可行性,论文最后提出了改进方案。