微细电火花加工系统及其相关技术的研究

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该文设计并研制了一台低成本、高性能的微细电火花加工系统的原理样机.该系统由机械部分和电气部分两大部分组成.机械部分主要包括横轴布局旋转主轴、步进电机及压电陶瓷伺服进给系统、制作微细工具的反拷系统和读数显微镜等.该文在总结前期工作成果的基础上,采用横轴布局V型陶瓷支承旋转主轴结构,改善了蚀除物的排出条件.不仅实现了C轴的高精度回转和Z轴与C轴的合二而一,而且实现了主轴与机身的电气隔离,极大地减小了寄生电容,为微细电火花加工的实现奠定了良好的基础.微能脉冲电源是微细电火花加工的另一项关键技术.该文采用实用的RC脉冲电源方案,并对RC脉冲电源的放电过程进行了系统的研究.该文的电极伺服系统采用压电陶瓷与步进电机宏微结合方式,为此,该文设计并研制了一种新型压电陶瓷驱动电源.该文对影响微细电火花的多种因素,如电容、开路电压和工作介质等对加工效率和加工精度的影响进行了大量研究.用所研制的原理样机实现了φ4.5μm的微细轴和φ8μm的微小孔的微细电火花加工.
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