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氧气和臭氧均是大气中常见气体。氧气是非极性分子,吸收特性较差,很难对其浓度进行精确测量,因此发展简单精确的氧气检测技术是十分必要的。氧气在紫外光照射下会产生臭氧,然而目前缺乏对氧气紫外光催化转化产生臭氧这一过程的定量描述。紫外吸收光谱检测技术以其非接触测量、高分辨率、高灵敏度、可实时在线监测等特点被广泛应用于气体测量。本文基于Beer-Lambert定律,分别开展了对氧气、臭氧紫外吸收光谱检测技术的探究。开展氧气浓度检测的紫外吸收光谱检测技术的研究。利用氧气在186~196nm真空紫外吸收波段,基于