利用激光在KDP晶体中制作三维微结构是抑制高功率激光驱动器中横向受激拉曼散射效应的一种有效方法。为了解激光制作微结构可行性以及加工参数对制作精度、效率和成品率的影响，本文对超快激光与KDP晶体的相互作用机理、聚焦激光在KDP晶体中的传输特性进行了研究。结果表明，超快激光与KDP晶体的主要相互作用机制为多光子电离和碰撞电离等非线性效应，加工过程受材料吸收特性影响很小而与激光峰值功率密切相关。激光焦点峰值功率密度、光斑畸变和位置偏移是影响加工精度和造成晶体碎裂的主要因素，本文模拟计算出激光焦点位置与各激光参数之间的关系，利用软件补偿后可显著提高加工精度。E光焦点形貌会随着晶体光轴与入射激光夹角θ增大而发生畸变，其峰值功率密度随着θ的增大而迅速减小。当θ小于15°, E光焦点可使加工效率提升一倍以上；当θ大于30°，低能量加工其影响可忽略，高能量加工则极易造成晶体碎裂，应对E光进行屏蔽。对激光加工KDP晶体组装层进行了实验研究。结果表明，组装层颗粒之间的相互干扰、加工过程中的内应力积累是影响加工质量的主要因素。应根据模拟计算结果优化颗粒间距，采用分段分次加工来消除内应力积累的影响。组装层隔光性能以吸收、漫反射和透射为主，透射光中散射光和平行光的比率约为5.8:1.2，散射角度约为39.6°。并采用此技术进行了飞秒激光切割石英玻璃研究，结果表明，为保证切割效率和提升切割质量，应尽量使用重复频率高、单脉冲能量较低，脉冲宽度尽量小的飞秒激光器。