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本文用苯作工作气体，在一个微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜(a-C:H)。对苯等离子体作了质谱分析，发现苯分解后形成的主要基团是C2H4等，而不是常规甲烷放电的CH3，这将影响膜的结构。实验中还考察了沉积参数，如功率、气压、流量、基片温度对膜的沉积速率的影响。它指出：沉积速率随微波功率、气压和流量的增加而上升；随温度的升高先升后降，存在极值。对制备的膜作了氢含量、IR、Raman谱等测试，结果显示随着基片温度的增加，氢含量下降，sp3结构在膜中所占的比例增大，膜更趋向于类金刚石膜。另外，对样品进行了扫描电子显微(SEM)分析和伏安特性测试。考察了基片温度对膜的电阻率与击穿场强的影响，结合Raman谱初步探索a-C:H膜的导电机制。