电子发射对稳态等离子体鞘层影响的研究

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如果把固体浸入等离子体中,等离子体和固体表面之间将形成一鞘层区,带电粒子被鞘层电场加速后入射到固体表面,如果粒子能量大于固体表面的逸出功将引发固体表面的二次电子发射.同时,加热的固体表面可以发射热电子.该文统称这两种电子为发射电子.发射电子会对鞘层中的电场分布及粒子流密度分布等物理量的变化产生一定的影响,进而影响等离子体的工艺过程.研究发射电子对鞘层的影响,具有一定的实际意义.该文建立了一套非线形自恰的流体力学方程组.首先研究了发射电子对悬浮板鞘层的影响;其次研究了发射电子对稳态氩辉光放电等离子体鞘层的影响,其中考虑了发射电子同中性气体原子及等离子体中的离子同中性气体原子的碰撞过程;最后研究了发射电子对具有实际意义的沉积金刚石膜、类金刚石膜工艺中的鞘层的影响.
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