柔性非晶硅基薄膜太阳电池的研究

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【摘要】

：

近年来,随着空间技术的发展,应用于小卫星的轻质衬底薄膜太阳电池得到了广泛的研究。在诸多轻质衬底薄膜太阳电池中,柔性衬底非晶硅基薄膜太阳电池在很多方面占有优势。聚酰亚胺薄膜由于其良好的物理化学性能,成为柔性衬底的理想材料。但是由于柔性衬底的采用,也给太阳电池的制备工艺带来了新的问题。与玻璃等刚性衬底相比,柔性衬底的耐高温性较差,电池的沉积温度不能太高,各层材料的沉积温度一般不应超过200℃。

【作者】

：

宁豪

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

a-SiC:H I/P Buffer PECVD 聚酰亚胺倒结构太阳电池

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