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本文系统地研究了同轴圆柱型的KrCl, KrBr*准分子紫外光源,着眼于电源波形、管壁厚度和气体参数(如总气压、卤素比例)等对准分子灯效率和光谱的影响,确定了其最佳效率及其对应的放电参数。基于介质阻挡放电(DBD)的同轴KrCl*准分子灯内管内外径分别为14和16mm,外管外径为40 mm,壁厚分别为1.2,1.5,2.0 mm。这三种壁厚的灯都充上同样的气体成分,即总气压为200mbar的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中氯气占1.0%。三种壁厚的灯分别用正弦、方波和脉冲电源来驱动。222 nm的辐射功率通过HamamatsuH8025-222紫外辐照度计探头测量KrCl*准分子灯中心的辐照度,并由Keitz公式计算得出；而灯的输入电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器积分得出。结果表明,1.2 mm壁厚的KrCl*准分子灯在三种电源驱动下效率都是最高的,最佳效率为脉冲电源驱动下达到9.2%。文中讨论了电压、频率、管壁厚度、管壁温度以及石英管的透过率对效率的影响,图解说明了微放电的丝状随着电压波形变化,并对功率测量和辐照度测量等进行了误差分析。在确定KrCl*准分子灯最佳管壁厚度后,制作了各种气体参数(如总气压和Cl2比例)的KrCl*准分子灯,研究了这些准分子灯在三种电源驱动下辐射强度、效率、光谱等的变化。确定了KrCl*准分子灯的最佳放电参数：脉冲电源,总气压200mbar和Cl2比例0.5%,对应的最大效率为11.4%。另外,KrCl*准分子灯的222 nm辐射谱线的半值全宽度(FWHM)随着气压升高而变窄,但与Cl2比例的变化关系不大。制作了同轴KrBr*准分子灯,用正弦电源和脉冲电源驱动,通过改变总气压、Br2比例等参数,研究了在不同参数下KrBr*准分子灯辐射强度、效率、光谱等的变化。207 nm的辐射功率通过HamamatsuH8025-207紫外辐照度计探头测量KrBr*准分子灯中心的辐照度,再由Keitz公式计算得出；而灯的输入功率则比较了“电压电流积分法”和“李萨如图形法”两种方法。结果表明,“电压电流积分法”更加准确。通过测量两种电源驱动下各种总气压、Br2比例条件下207nm的辐射效率,最终确定了KrBr*准分子灯的最佳放电条件：脉冲电源驱动下,灯内总气压300mbar以及0.25%的Br2,对应的最佳效率为2.2%。