MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛，其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的一半以上。由于目前测试技术及设备的限制，其测试基本都是由人工逐一完成，从而限制了其成本。针对这一产业需求，研制一种热电堆探测器的批量化自动测试系统具有明确的市场价值。本文围绕热电堆红外探测器的工作特性，特别是环境温度及激励温度对器件工作的影响，构建了一套针对晶圆级红外热电堆探测器特殊测试需求的批量化测试系统。本文首先介绍了热电堆红外探测器的发展背景、国内外发展现状，以及当前国内外针对晶圆级热电堆红外探测器测试设备的发展现状。其次从器件的工作原理出发，分析其主要测试方法和测试条件，并结合晶圆级MEMS器件测试需求设计了一套晶圆级批量化测试设备。针对测试需求制定了测试流程和性能指标，并用实验与仿真的方法对设计过程中出现的主要技术难点提出了解决方案，并进行了实验验证。在设计过程中，使用Solidworks绘图软件对系统结构进行三维模拟装配。最后对系统进行搭建与性能测试。系统的搭建，采用模块化思路将系统分解为运动控制模块、环境温度控制模块和信号采集模块，提高了系统的灵活性与可扩展性。系统的测试，采用某款热电堆红外探测器对测试系统进行测试验证，结果表明系统测试效果准确、可信。