溶胶-凝胶法制备ZnO：Al透明导电薄膜及其性能研究

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【摘要】

：

透明导电氧化物薄膜具有高的载流子浓度和较宽的光学能隙,因而表现出优良的光电性能,如低的电阻率和在可见光范围内高的透光率。目前,透明导电氧化物薄膜主要包括SnO_2,In_2O_3,ZnO及上述氧化物的掺杂体系。近年来,ZnO薄膜成为国内外薄膜材料工作者的研究热点之一。掺杂Al的ZnO(znO:Al,AZO)薄膜,由于具有与ITO薄膜相比拟的对可见光的高透光率和高电导率,又因其在氢等离子体中的高稳定

【作者】

：

张锋

【机构】

：

兰州大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 AZO薄膜 c轴取向光电性能

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