作为全光通信的关键器件，MEMS光开关的发展一直备受关注。其中，静电驱动MEMS光开关结构简单，设计灵活，应用最为广泛。论文通过比较各种MEMS光开关的优缺点，选择扭臂式静电驱动MEMS光开关作为研究对象。　　论文首先从MEMS光开关工作原理出发，研究光信号在MEMS光开关中的传播特性，为减小插入损耗，选用双透镜耦合系统进行光纤之间的耦合，并确定了微镜尺寸大小及其表面镀膜厚度。其次，对MEMS光开关的扭臂式静电驱动结构进行设计，并考虑到驱动实际工作过程中空气阻尼作用的影响，根据所选结构参数，运用力电耦合分析方法对所设计的驱动结构做精确建模分析，研究空气阻尼作用对所设计驱动结构的影响。最后研究了所设计MEMS光开关的性能参数，得到其开态插入损耗为0.334 dB，闭态插入损耗为0.809 dB，开启时间为2.2 ms，释放时间为2.5 ms，通过对MEMS光开关进行应力分析，发现当上下电极吸合时，结构应力均匀分布在上电极，且扭臂的最大内应力仅为72.848 MPa，远小于单晶硅的屈服强度7.0 GPa，说明所设计的驱动结构是稳定可靠的，此外本文通过数值分析得到了MEMS光开关开启时间和释放时间随结构参数的变化关系。本文的研究结果为扭臂式静电驱动MEMS光开关的设计和优化提供了理论依据和参考。