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科学技术及其应用正朝着高精密乃至纳米水平发展,高精密制造和计量越来越广泛,为此,满足一般实验条件下使用以量值溯源为目的的低成本、方便实用的高精密位移测量和校准器面临广泛的需求。现有能达到纳米精度要求的测量和校准设备多采用外差干涉技术、F-P干涉技术、频率扫描干涉技术等,但是它们对外界环境的变化非常敏感,其结构复杂,使用成本高,难以满足一般工程实验环境下高精度位移测量和校准的需要。为此,本文提出设计一种高精度大量程的位移测量校准器。该仪器采用激光共路偏振干涉原理,成本低,结构简单紧凑,抗干扰能力强,方