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共焦显微成像技术由于其高精度、高分辨率及独特的轴向层析成像能力,在半导体、微电子器件、信息存储、工程表面测量、医学检测以及生命科学研究等检测领域得到了广泛地应用。近年来,并行共焦技术引起各国专家的普遍关注,并进行了大量的研究,取得了一定的成果。由于光学系统的限制,系统的并行分辨能力不能得到有效提高,现有的轴向和径向并行探测能力还不能满足对三维微结构探测的基本要求。论文致力于一种基于像散法的并行共焦检测方法的探索研究,利用像散镜,将基于光强的正焦辨识转换为基于形状的正焦辨识,试图以此改善探测系统的探测