超硬材料具有高硬度、高耐磨性等特点,使用传统的机械方法成型加工比较困难,而特种加工是加工这些超硬材料的有效方法。在难加工材料和精密加工中,超声加工技术具有普通加工无法比拟的工艺效果,将超声加工和电火花相结合进行复合加工,常常能大幅度地提高加工速度、改善加工质量和完成一般加工方法难以完成的加工工作。因此,被广泛地应用于国民经济的各部门,并有广阔的应用前景。本文在理论上分析了超声电火花复合加工的加工机理及超硬合金、聚晶金刚石、导电陶瓷三种超硬材料的性能及用途。针对超硬材料的超声电火花复合加工试验,分析了超声振动对间隙放电状态、放电通道的形成的影响以及超声对放电凹坑、表面显微组织的影响。通过试验方案的设计,运用超声电火花法对这三种超硬材料进行加工,研究脉冲宽度、超声振幅、磨粒大小对加工效率的影响以及加工中电极的损耗情况。并进一步分析了电火花加工对超声加工的影响,并对超声电火花复合加工中的放电情况进行一定的分析。超声复合加工中的电火花放电是一个复杂的过程,电火花加工对超声加工的加工效率和加工精度有一定影响。试验结果表明材料的去除率随着脉冲宽度、超声振幅的增大而增大;加工表面粗糙度随着脉冲宽度、超声振幅的增大而增大,磨料颗粒的大小也影响了加工表面粗糙度。