AFM微悬臂梁法向弹性系数标定技术

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【摘要】

：

原子力显微镜(AFM)广泛应用于表面形貌测量和材料表面纳米尺度的力学特性研究。作为AFM的信号拾取单元,微悬臂梁探针法向弹性系数的准确度直接影响AFM实施力学特性测量的准确度。本文完成了一种新颖的微悬臂梁法向弹性系数标定方案及相应系统的可行性分析。该方案在原理上基于弯曲方法,分别采用超精密天平和光杠杆测量悬臂梁的弯曲力和挠度,进而由胡克定律得到悬臂梁法向弹性系数。本文主要完成了该系统的测控电路设计

【作者】

：

陈庆超

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2012年12期

【关键词】

：

AFM 微悬臂梁弹性系数标定精密天平光杠杆

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