微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成电路技术兼容的加工技术制造出尺寸达到微米甚至纳米量级的机械。传感器是MEMS的一个重要应用领域。本文针对目前固态加速度传感器的弹性结构设计存在高灵敏度与抗高过载之间的矛盾以及对抗高过载加速度计的现实需求,提出了一种新型加速度传感器即水银电容加速度传感器。本文在理论上说明了水银加速度传感器的原理、几种电容电介质薄膜的性质、应用以及制备方法,另外对相关的学科理论也有一定的阐述,诸如固液表面的接触理论,固液接触角的测量方法等等。在分析了水银加速度传感器可行性及其潜在的优点的基础上,本文对于在不同加速度作用下,水银液滴表面形状的控制方程进行了理论探索,这对于整个传感器的研究具有重要意义。在结构设计一章中,提出了三种水银强的结构设计方案,重点描述了水银腔为工字形结构的情形。通过实验测量了水银与几种常用电介质之间接触角,并应用Matlab软件编写了自动实现接触角计算的程序。最后给出了全文总结,提出了下一步研究的建议。