一种基于超声行波驱动的小型蠕动泵研究

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【摘要】

：

随着MEMS技术在生物医学工程领域的广泛应用,微泵技术的研究已逐渐成为MEMS研究的一个热点。基于超声行波驱动的小型蠕动泵在原理上不同于当前的各种微泵技术,它是利用压电陶瓷的逆压电效应产生超声振动在输送管道壁上激起行波,该行波使输送管道壁质点产生与管道壁垂直的椭圆运动。同步驱动两个压电振子,利用产生的上下两列相位相反的行波在两弹性体间形成一系列的腔,腔的体积随行波变化而变化,从而驱动流体在波的传播

【作者】

：

张丹丹

【机构】

：

山东大学

【发表日期】

：

2011年05期

【关键词】

：

超声行波蠕动泵模态分析声固耦合流固耦合

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