随着高新技术的快速发展，广泛应用于航空航天、医疗电子、汽车船舶等领域的微细结构的尺寸不断缩小，而且性能优异的新兴材料一般都属于难加工材料，需要特种微细加工技术对新兴材料进行微结构的加工。目前依靠一种特种加工技术很难同时达到高效率、经济性好、加工精度高、加工质量好，因此各种特种加工技术的集成复合逐渐成为一种新兴的加工手段，吸引大量学者不断地进行探索研究并逐步被应用到实际生产中。激光微细加工具有高效率、柔性好的优势而电解射流微细加工的加工质量好，将这两种技术进行复合以实现优势上的相辅相成，具有很大的发展潜力和应用前景。在国内外相关技术研究现状的基础上分析了毫秒激光复合短脉冲电解射流加工的技术要求，研制了毫秒激光复合短脉冲电解射流加工耦合系统，并利用此耦合系统探究了聚焦激光束在电解液液束中的传输特性，分析了复合加工中获得高加工质量所需的激光加工工艺参数。针对毫秒激光复合短脉冲电解射流加工对短脉冲电解电源的技术要求，在独立式脉冲电源的基础上研制了主加工回路及相应的驱动保护电路，完成了短脉冲电解电源的总体设计，并通过短脉冲电解射流加工试验证明了该电源满足复合加工要求，同时得到复合加工中所需的短脉冲电解射流加工的工艺参数。对比了水束和电解液液束引导激光加工效果的不同，验证了毫秒激光复合短脉冲电解射流加工的部分作用机理，即复合加工中存在着光化学、热化学作用，有助于加工质量的提高；进行了短脉冲电解射流加工对激光加工的后续处理试验，证明了此方法具有一定的可行性；利用研制的耦合系统和短脉冲电解电源进行了毫秒激光复合短脉冲电解射流加工孔的正交试验，分析了影响复合加工孔的再铸层厚度和孔锥度的主要因素，获得了优化的复合加工工艺参数。