光谱光栅仪中高精度快速波长扫描方法的研究

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传统光栅扫描式光谱仪器由于机械结构的限制,无法达成高精度波长扫描和高速扫描的统一。本论文针对传统的光栅光谱的扫描结构,设计了三种不同的光栅光谱波长扫描方案来提高波长扫描系统的性能。对于步进电机直接驱动光栅的结构,其扫描速度相比传统的丝杆结构有了明显的提高,但在高细分状态下步进电机运行状态不稳定,造成整个波长扫描系统的精度下降。在研究了步进电机和谐波电机的工作性能后,设计了采用压电谐波电机直接驱动光栅的波长扫描方案。经过实验测试其波长准确度为±0.4nm,波长重复性为±0.5nm。
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