论文部分内容阅读
由于工业生产、环境监测等领域对气体传感器的要求越来越高,因此,对气体传感器的研究也愈显重要。碳纳米管凭借其独特的物理、化学性质被应用到气敏传感器中,为提升气敏传感器的性能开辟了一条新的途径。首先利用仿真软件对叉指微电极进行了电场强度的仿真以获得合理的结构参数；再通过光刻技术在导电玻璃表面制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极；用循环伏安法表征了其电化学特性,并用多壁碳纳米管为敏感材料制成敏感元件；分别在有光和无光条件下检测了传感器的气敏性能；通过搭建的光电检测系统检测了碳纳米管薄膜的光电特性,并对实验结果做了初步的分析与推断：纳米修饰的气敏传感性能在光照条件下有了明显的提高。