基于MEMS的透射电镜微型加热器件的设计与测试

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【摘要】

：

微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)具有尺寸小、集成度高、耗能小、可大规模生产、工艺多样化、精度高等优点,因此被广泛应用在汽车、航空航天、医学、通信、环境等领域。基于MEMS技术,设计、加工了一种在透射电子显微镜(TEM)中可以原位观测微/纳米线、带、纤维和薄膜样品的高温力学性能和显微结构演化的一体化实验平台。该一体化平台选用顶层厚度为60μm的绝

【作者】

：

张韬楠

【机构】

：

北京工业大学

【发表日期】

：

2016年01期

【关键词】

：

微加热器 MEMS 有限元模拟电热性能测试

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